羅茨真空泵的性能一直以來(lái)都沒(méi)有嚴(yán)格區(qū)分,即使在國(guó)外也大都如此,哪一些是泵本身的特征性能,哪一些是除了本身的因素外還在很大程度上取決于前級(jí)泵的性能,也即是羅茨泵機(jī)組的性能。以至于一些是泵本身的特征性能沒(méi)有去充分考核,而一些應(yīng)該屬于羅茨泵機(jī)組的性能卻作為羅茨泵的性能在考核,雖然這種情況不斷在改進(jìn)。此外,羅茨泵性能的測(cè)量方法也有待改進(jìn)、有所創(chuàng)新,使它更接近、更符合實(shí)際運(yùn)行狀態(tài)。
1、基礎(chǔ)壓力
一直以來(lái)所有真空泵都有一個(gè)非常重要的性能指標(biāo)———極限壓力,但極限壓力對(duì)真空泵而言其實(shí)并不十分確切,正如ISO21360-1所指出的那樣:極限壓力是測(cè)試罩內(nèi)漸近的壓力值,它是泵可獲得的最低壓力,但沒(méi)有一個(gè)實(shí)際的測(cè)量方法或規(guī)范。也就是說(shuō),它是一個(gè)無(wú)限的漸近的值,它永遠(yuǎn)也達(dá)不到所謂的極限和最低,是一個(gè)無(wú)法測(cè)量的值。ISO21360-1提出了一個(gè)新概念—基礎(chǔ)壓力,但它并沒(méi)有給基礎(chǔ)壓力提出一個(gè)確切的定義,我們認(rèn)為可以這樣定義:基礎(chǔ)壓力———泵按規(guī)定條件工作,在不引入氣體的情況下,標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩內(nèi)趨向穩(wěn)定的壓力,單位為Pa。與極限壓力的定義相比較,基礎(chǔ)壓力的定義中取消了“最低”,也就沒(méi)有了極限的含義。這是一個(gè)可以測(cè)量的值,我們認(rèn)為所有真空泵都應(yīng)該將性能指標(biāo)中的“極限壓力”修改為“基礎(chǔ)壓力”,尤其是單獨(dú)使用的、直接排大氣的真空泵,如滑閥泵、旋片泵、液環(huán)泵、活塞泵、渦旋泵、爪式泵、濕式羅茨泵和氣冷式羅茨泵等等?;A(chǔ)壓力對(duì)羅茨泵而言,并不是羅茨泵本身的特征性能指標(biāo),它在很大的程度上取決于前級(jí)泵的類(lèi)型(基礎(chǔ)壓力)和溫度,因此在標(biāo)注泵的基礎(chǔ)壓力時(shí),必須同時(shí)注明所配置的前級(jí)泵類(lèi)型。過(guò)去曾一度認(rèn)為,我們羅茨泵的基礎(chǔ)壓力始終不如國(guó)外的好,后來(lái)查明是因?yàn)楫?dāng)時(shí)作為前級(jí)泵的旋片泵質(zhì)量不是最好,更換上質(zhì)量好的前級(jí)泵,羅茨泵的基礎(chǔ)壓力就完全達(dá)到了國(guó)外泵的先進(jìn)水平,這就充分說(shuō)明基礎(chǔ)壓力并不是羅茨泵本身的特征性能。考慮到基礎(chǔ)壓力比較直觀,生產(chǎn)廠商和用戶的習(xí)慣,改變和認(rèn)識(shí)還需要一個(gè)過(guò)程,這次羅茨泵新標(biāo)準(zhǔn)中仍將基礎(chǔ)壓力列入主要性能指標(biāo)。
2、漏率
真正代表羅茨泵在這方面的特征性能的是漏率,只要漏率達(dá)到了要求,羅茨泵的基礎(chǔ)壓力就保證能達(dá)到要求。由于它與前級(jí)泵無(wú)關(guān),也基本上不受溫度的影響,所以應(yīng)當(dāng)將漏率作為羅茨泵的主要性能指標(biāo)來(lái)考核。這次修訂羅茨泵標(biāo)準(zhǔn)時(shí),我們已將漏率列入羅茨泵的主要性能指標(biāo)。至于基礎(chǔ)壓力,因?yàn)椴皇潜帽旧淼奶卣餍阅苤笜?biāo),不應(yīng)在質(zhì)量檢驗(yàn)時(shí)再作為主要性能來(lái)考核。漏率的定義是:在規(guī)定條件下,一種特定氣體通過(guò)漏孔的流量,單位為Pa·m3/s。在我們修訂的羅茨泵標(biāo)準(zhǔn)中,基本參數(shù)中漏率的指標(biāo)與PFEIFFER公司的指標(biāo)完全一致,標(biāo)準(zhǔn)中也規(guī)定了漏率的測(cè)量方法。
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